ISO 5618-2:2024
p
ISO 5618-2:2024
83694
недоступно на русском языке

Текущий статус : Опубликовано

ru
Формат Язык
std 1 129 PDF + ePub
std 2 129 Бумажный
  • CHF129
Пересчитать швейцарские франки (CHF) в ваша валюта

Тезис

This document describes a method for determining the etch pit density, which is used to detect dislocations and processing-introduced defects that occur on single-crystal GaN substrates or single-crystal GaN films.

It is applicable to the defects specified in ISO 5618-1 from among the defects exposed on the surface of the following types of GaN substrates or films: single-crystal GaN substrate; single-crystal GaN film formed by homoepitaxial growth on a single-crystal GaN substrate; or single-crystal GaN film formed by heteroepitaxial growth on a single-crystal Al2O3, SiC, or Si substrate.

It is applicable to defects with an etch pit density of ≤ 7 × 107 cm-2.

Preview 

Вы можете ознакомиться с данным стандартом в нашей онлайн-библиотеке (OBP)

Общая информация

  •  : Опубликовано
     : 2024-04
    : Опубликование международного стандарта [60.60]
  •  : 1
  • ISO/TC 206
    81.060.30 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)