Reference number
IEC/TR 63258:2021
© ISO 2024
Technical Report
IEC/TR 63258:2021
Nanotechnologies — A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
Edition 1
2021-03
Technical Report
Preview
недоступно на русском языке
Опубликовано (Версия 1, 2021)

Тезис

IEC TR 63258:2021 is a Technical Report focused on the practical protocol of ellipsometry to evaluate the thickness of nanoscale films. This document does not include any specification of the ellipsometers, but suggests how to minimize the data variation to improve data reproducibility.

Общая информация

  • Текущий статус
     : Опубликовано
    Дата публикации
     : 2021-03
    Этап
    : Опубликование международного стандарта [60.60]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 229
    ICS :
    07.120 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. МКС
  5. 07
  6. 07.120
  7. IEC/TR 63258:2021