Numéro de référence
ISO 23216:2021
Norme internationale
ISO 23216:2021
Films à base de carbone — Détermination des propriétés optiques des films de carbone amorphe par ellipsométrie spectroscopique
Edition 1
2021-05
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ISO 23216:2021
74875
Publiée (Edition 1, 2021)

ISO 23216:2021

ISO 23216:2021
74875
Langue
Format
CHF 63
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Résumé

Le présent document spécifie l'ellipsométrie spectroscopique pour la détermination des propriétés optiques (indice de réfraction n et coefficient d'extinction k) et la classification optique de différent types de films de carbone amorphe dans le plan n-k.

Il s'applique aux films de carbone amorphe déposés par évaporation ionisée, pulvérisation, dépôt par arc cathodique, dépôt chimique en phase vapeur assisté plasma (PAVCD), par filament chaud, et d'autres techniques.

Il ne s'applique pas aux films à base de carbone modifié avec des métaux ou du silicium, aux films de carbone amorphe qui ont un gradient de composition/propriété dans l'épaisseur, aux peintures et aux vernis.

Informations générales

  •  : Publiée
     : 2021-05
    : Norme internationale publiée [60.60]
  •  : 1
     : 7
  • ISO/TC 107
    25.220.99 
  • RSS mises à jour

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