Résumé

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Le présent document définit les termes relatifs aux manomètres capacitifs à membrane (CDG), il spécifie quels paramètres sont à fournir pour les manomètres capacitifs à membrane, il détaille leur procédure d'étalonnage et décrit quelles incertitudes de mesure sont à prendre en compte lors de l'utilisation de ces manomètres.

Le présent document complète l'ISO 3567 et l'ISO 27893 pour l'étalonnage des manomètres capacitifs à membrane et leur utilisation comme étalons de référence.


Informations générales 

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2019-01
  • Edition
     : 1
    Nombre de pages
     : 17
  • Comité technique
     : ISO/TC 112 Technique du vide
  • ICS
     :
    23.160 Technologie du vide

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