Résumé
PrévisualiserLe présent document définit les termes relatifs aux manomètres capacitifs à membrane (CDG), il spécifie quels paramètres sont à fournir pour les manomètres capacitifs à membrane, il détaille leur procédure d'étalonnage et décrit quelles incertitudes de mesure sont à prendre en compte lors de l'utilisation de ces manomètres.
Le présent document complète l'ISO 3567 et l'ISO 27893 pour l'étalonnage des manomètres capacitifs à membrane et leur utilisation comme étalons de référence.
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2019-01
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Edition: 1Nombre de pages: 17
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- ICS :
- 23.160 Technologie du vide
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