ISO/CD 23131-3
Ellipsometry — Part 3: Transparent single layer model
Reference number
ISO/CD 23131-3
Edición 1
Committee Draft
ISO/CD 23131-3
83903
El comité está revisando un borrador.

Resumen

This document uses ellipsometric measurements and their analysis to specify the method for the determination of the layer thickness d of a transparent layer and the optical (refractive index n) or dielectric (real part ε1) constants/functions based on the transparent single layer model within a spectral region, for which k = 0 applies.

Informaciones generales

  •  : En desarrollo
    : Cierre del periodo de observaciones [30.60]
  •  : 1
  • ISO/TC 107
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