Resumen
ISO 14606:2015 gives guidance on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.
ISO 14606:2015 is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.
Informaciones generales
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Estado: RetiradaFecha de publicación: 2015-12Etapa: Retirada de la Norma Internacional [95.99]
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Edición: 2Número de páginas: 16
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Comité Técnico :ISO/TC 201/SC 4ICS :71.040.40
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RetiradaISO 14606:2000
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PublicadoISO 14606:2022
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